反应溅射WS₂/MoS₂/C复合薄膜的摩擦磨损性能

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• 出版年：2010
• 作者：周磊；尹桂林；王玉东；余震；何丹农
• 单位1：上海交通大学材料科学与工程学院
• 语种：中文
• 作者关键词：WS₂；MoS₂；C；摩擦性能；磨损性能
• 起始页：483
• 总页数：5
• 经费资助：国家自然科学基金资助项目(50675131)
• 刊名：中国有色金属学报
• 是否内版：否
• 刊频：月刊
• 创刊时间：1991
• 主管单位：中国科学技术学会
• 主办单位：中国有色金属学会
• 主编：黄伯云
• 电子信箱：f-ysxb@mail.csu.edu.cn
• 网址：http://www.ysxbcn.com；http://www.tnmsc.cn
• 卷：20
• 期：3
• 期刊索取号：P206.6141-1

摘要

为了扩展在潮湿条件下WS₂/MoS₂复合薄膜的应用，使用WS₂/MoS₂作靶材，在Af/C₂H₂气氛中通过反应溅射法制备WS₂/MoS₂/C复合薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、X射线能谱仪(EDX)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、MFT-4000材料表面性能试验仪表征薄膜的性能以便评价薄膜的微结构与摩擦性能的关系。结果表明：与纯MoS₂薄膜相比，WS₂/MoS₂/C复合薄膜结构致密，硬度提高。个数量级；在潮湿的大气中复合薄膜的摩擦因数更低，抗磨损能力更强。