p型透明导电氧化物CuAlO₂薄膜的研究进展

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• 出版年：2007
• 作者：李军；兰伟；张铭；董国波；严辉
• 单位1：北京工业大学材料学院薄膜实验室
• 出生年：1983
• 学历：硕士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：透明导电氧化物（TCO）；p型TCO；CuAlO₂薄膜
• 起始页：115
• 总页数：4
• 经费资助：国家自然科学基金（No.60576012）；北京市拔尖创新人才计划（No.20041D0501513）资助项目
• 刊名：材料导报
• 是否内版：否
• 刊频：月刊
• 创刊时间：1987
• 主办单位：科学技术部西南信息中心
• 主编：张明
• 地址：重庆市北部新区洪湖西路18号
• 邮编：401121
• 电子信箱：mat-rev@swic.ac.cn；mat-rev@163.com；matreved@163.com；matreved@swic.ac.cn
• 网址：http://www.mat-rev.com
• 卷：21
• 期：3
• 期刊索取号：P822.06 432
• 数据库收录：全国中文核心期刊；中国科学引文数据库来源期刊；中国科技论文统计源期刊
• 核心期刊：全国中文核心期刊

摘要

透明导电氧化物（TCO）的出现开拓了光电子器件研究的新领域。但p型TCO的相对匮乏严重制约了透明氧化物半导体（TOS）相关器件的开发与应用。CuAlO₂作为一种天然的p型TCO成为近年来p型TCO的研究热点。介绍了p型TCO的研究现状，综述了不同制备方法制备p型CuAlO₂薄膜的研究进展，以及在器件方面的应用，并对其前景进行了展望。