铌镁酸钙/钛酸钙多层异质薄膜中的晶格失配与粗糙度累积

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• 出版年：2010
• 作者：沈杰；周静；雷琼；欧刚；陈文
• 单位1：武汉理工大学材料科学与工程学院
• 出生年：1981
• 学历：博士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：铌镁酸钙/钛酸钙异质结构介电薄膜；晶格失配；粗糙度累积；异质界面；介电性能
• 起始页：7
• 总页数：5
• 经费资助：教育部科学技术研究重点项目（109111）资助
• 刊名：硅酸盐学报
• 是否内版：否
• 刊频：月刊
• 创刊时间：1957
• 主管单位：中国科学技术协会
• 主办单位：中国硅酸盐学会
• 主编：黄勇
• 地址：北京海淀区三里河路11号
• 邮编：100831
• 电子信箱：jccsoc@vip.163.com；jccsoc@sina.com
• 网址：http://www.jccsoc.com；http://www.ceramsoc.com；http://gsyxb.periodicals.net.cn；http://gxyb.chinajournal.net.cn
• 卷：38
• 期：1
• 期刊索取号：P872.066 591
• 数据库收录：Ei核心期刊；CA，SA，РЖ收录期刊
• 核心期刊：Ei核心期刊

摘要

采用Pechini法制备Ca（Mg_1/3Nb_2/3）O₃（CMN）及CaTiO₃（CT）前驱体溶液，用液相旋涂技术按照一定的排布方式制备了总厚度相同而异质界面数不同的CMN/CT异质结构介电薄膜。研究表明：无论是CMN还是CT，其同质层间均会由于前一层的籽晶作用而产生粗糙度的累积，从而对其相结构、微观形貌和介电性能产生不利影响。异质层间的晶格失配可以消除这种粗糙度累积效应，改善薄膜的相结构和微观形貌。随着薄膜中异质界面数的增加，获得了结晶较好的单一钙钛矿结构异质薄膜，薄膜表面粗糙度降低，介电性能得到提高。