浅H₃PO₄液层下YBCO高温超导薄膜表面粗糙度的红外实时表征

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• 出版年：2007
• 作者：刘娟秀；罗正祥；羊恺；刘霖；补世荣；张天良；叶玉堂
• 单位1：电子科技大学
• 出生年：1981
• 学历：博士生
• 职称：讲师
• 语种：中文
• 作者关键词：超导薄膜；红外热像；粗糙度；钇钡铜氧
• 起始页：1951
• 总页数：4
• 经费资助：国家自然科学基金（60277008）；国家863基金（2002AA306421）；电子科大校青年基金项目（JX05010）
• 刊名：稀有金属材料与工程
• 是否内版：否
• 刊频：月刊
• 主管单位：中国科学技术协会
• 主办单位：中国有色金属学会；中国材料研究学会；西北有色金属研究院
• 主编：殷为宏
• 地址：北京市东黄城根北街16号
• 邮编：100717
• 电子信箱：rmme@c-nin.com
• 网址：http://www.c-nin.com
• 卷：36
• 期：11
• 期刊索取号：P822.06 141-1
• 数据库收录：国家重点学术期刊；首届国家期刊奖；中国优秀科技期刊一等奖；中国有色金属工业；优秀科技期刊一等奖；中国期刊方阵双奖期刊；陕西省优秀科技期刊特等奖；中国科技论文统计源期刊；中国科学引文数据库文献源；中文核心期刊；中国材料科学核心期刊；中国物理学核心期刊；中国学术期刊光盘版入网刊物；美国ISI数据库用刊(SCI Expanded®，Research Alcrt®，Materials Science Citation Indcx®)；美国工程索引(EI)文献源期刊；美国化学文摘(CA)文献源期刊；英国科学文摘(I
• 核心期刊：中文核心期刊；中国材料科学核心期刊；中国物理学核心期刊

摘要

提出利用红外热像实时监测系统，实时获得在YBCO高温超导薄膜上H₃PO₄腐蚀浅液层的红外灰度数值分布，并以浅液层热交换简化模型为基础，通过归一化红外灰度标准差值表征YBCO高温超导薄膜表面粗糙度的变化。理论分析与实验结果均表明，由归一化红外灰度标准差值的变化曲线，可以清楚展现YBCO高温超导薄膜表面粗糙度增大、减小以及趋于平缓的3个阶段，并能直接获得每个阶段所对应的时间。在本实验条件下，表面粗糙度在8s时达到最大值，然后逐渐下降，到40s时开始趋于稳定。浅液层条件下的YBCO高温超导薄膜表面粗糙度的成功观测，是一个重要的阶段目标，为最终解决YBCO高温超导薄膜湿法刻蚀中粗糙度的实时监测难题奠定了良好基础。