靶与衬底之间的距离对ZnO:Zr 透明导电薄膜性能的影响
- 出版年：2010
- 作者：张化福；陈钦生；刘汉法
- 单位1：山东理工大学理学院
- 出生年：1977
- 学历：硕士
- 语种：中文
- 作者关键词：靶与衬底之间的距离；ZnO:Zr；透明导电薄膜；磁控溅射
- 起始页：1412
- 总页数：5
- 经费资助：山东省自然科学基金(ZR2009GQ011)资助项目
- 刊名：人工晶体学报
- 是否内版：否
- 刊频：双月刊
- 创刊时间：1972
- 主管单位：中国建筑材料联合会
- 主办单位：中材人工晶体研究院
- 主编：沈德忠
- 电子信箱：jtxbbjb@126.com
- 网址：www.jtxb.cn
- 卷：39
- 期：6
- 期刊索取号：P311.06105
- 核心期刊：中文核心期刊；《EI》核心期刊
摘要
利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌(ZnO:Zr)透明导电薄膜。并系统地研究了靶与衬底之间的距离对ZnO:Zr薄膜结构、形貌、光学及电学性能的影响。实验结果表明，靶与衬底之间的距离对ZnO:Zr薄膜的生长速率、结晶质量及电学性能有很大影响，而对其光学性能影响不大。实验制备的ZnO:Zr为六方纤锌矿结构的多晶薄膜，且具有垂直于衬底方向的c轴择优取向。当靶与衬底之间的距离从60mm减小到50mm时，薄膜的晶化程度提高、晶粒尺寸增大，薄膜的电阻率减小；然而，当距离继续减小时，薄膜的晶化程度降低、晶粒尺寸减小，薄膜的电阻率增大。当靶与衬底之间的距离为50mm时，薄膜的电阻率达到最小值4.2×10-4Ω·cm，其可见光透过率超过95%。实验制备的ZnO:Zr薄膜可以用作薄膜太阳能电池和液晶显示器的透明电极。