柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究
- 出版年：2007
- 作者：孙裔；刁训刚；杨盟；武哲；舒远杰
- 单位1：北京航空航天大学
- 出生年：1982
- 学历：硕士生
- 语种：中文
- 作者关键词：直流磁控溅射：柔性衬底；ITO透明导电薄膜
- 起始页：86
- 总页数：5
- 经费资助：国家自然科学基金重点项目（90305026）及中国工程物理研究院双百人才基金（2005R0504）资助
- 刊名：稀有金属材料与工程
- 是否内版：否
- 刊频：月刊
- 主管单位：中国科学技术协会
- 主办单位：中国有色金属学会；中国材料研究学会；西北有色金属研究院
- 主编：殷为宏
- 地址：北京市东皇城根北街16号
- 邮编：100717
- 电子信箱：rmme@c-nin.com
- 网址：http：//www.c-nin.com
- 卷：36
- 期：1
- 期刊索取号：P/822.06/141-1
- 数据库收录：国家重点学术期刊；首届国家期刊奖；中国优秀科技期刊一等奖；中国有色金属工业优秀科技期刊一等奖；中国期刊方阵双奖期刊；陕西省优秀科技期刊特等奖；中国科技论文统计源期刊；中国科学引文数据库文献源；中文核心期刊；中国材料科学核心期刊；中国物理学核心期刊；中国学术期刊光盘版入网刊物；美国ISI数据库用刊(SCI Expanded®,Research Alert®, Materials Science Citation Index®)；美国工程索引(EI)文献源期刊；美国化学文摘(CA)文献源期刊；英国科学文摘(INSPEC)文献源期刊；日本科学技术文献速报(JICST)用刊；俄罗斯文摘杂志(AJ)文献源期刊；剑桥科学文摘(CSA)文献源期刊；美、英金属文摘(MA)文献源期刊；美国陶瓷文摘文献源期刊；世界铝文摘文献源；美国国会图书馆收藏刊物；中国科技期刊篇名数据库收录刊物；中国科技期刊篇名数据库收录刊物；有色金属文献数据库文献源；《中国学术期刊文摘》文献源；《中国冶金文摘》文献源；《中国无机分析化学文摘》文献源；《物理文摘》文献源；《中国核科技文摘》文献源；《有色金属文摘》文献源
- 核心期刊：中文核心期刊；中国材料科学核心期刊；中国物理学核心期刊
摘要
利用直流磁控溅射方法在柔性聚酯薄膜衬底上制备了氧化铟锡（ITO）透明导电薄膜，采用X射线衍射、紫外一可见分光光度计、四探针电阻测量仪等测试手段对薄膜样品进行表征，研究了氧含量、薄膜厚度、衬底负偏压对ITO薄膜的晶体结构和光电性能的影响，优化了柔性衬底ITO薄膜的制备工艺条件。制得样品的最佳可见光平均透过率为85.6%，方块电阻为6Q/口。