基于XRD光谱法的光参量振荡铌酸锂晶体SiO₂薄膜损伤研究

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• 出版年：2010
• 作者：牛瑞华；韩敬华；罗晋；卢峰；朱启华；李彤；杨李茗；冯国英；周寿桓
• 单位1：四川大学电子信息学院
• 单位2：西南技术物理研究所
• 出生年：1976
• 学历：博士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：XRD光谱；光学参量振荡器(0P0)；缺陷诱导薄膜损伤；激光等离子体冲击波
• 起始页：3430
• 总页数：5
• 经费资助：国家自然科学基金重大项目(60890203)；国家自然科学基金委员会—中国工程物理研究院联合基金项目(10676023)；四川大学青年教师科研启动基金项目(2009SCU11008)资助
• 刊名：光谱学与光谱分析
• 是否内版：否
• 刊频：月刊
• 创刊时间：1981
• 主管单位：中国科学技术学会
• 主办单位：中国光学学会
• 主编：黄本立
• 电子信箱：chngpxygpfx@vip.sina.com
• 网址：http://www.gpxygpfx.com
• 卷：30
• 期：12
• 期刊索取号：P342.06220
• 数据库收录：已被国内外CSCD，SCI,Ei,CA,AA,PЖ,MEDLINE等文献机构收录
• 核心期刊：本刊系中国物理类、化学类核心期刊

摘要

针对参量振荡过程中铌酸锂表面的增透薄膜的损伤问题，采用了XRD光谱法和形貌观测法对激光诱导薄膜损伤的形貌及其物理过程进行了深入地分析。观测发现：薄膜损伤点的特征是膜面出现凹陷的点坑，周围分散着由厚到薄变化的沉积层，XRD光谱检测显示出现了薄膜材料的晶化。利用杂质缺陷诱导薄膜损伤模型对以上损伤的形貌成因进行了分析。研究表明：杂质粒子对激光脉冲能量的强烈吸收会引起邻近光学材料的迅速熔化、汽化和电离，形成复杂物态结构混合物；在激光等离子体冲击波作用下，混合物发生喷溅扩散形成凹陷坑。在扩散冷却过程中沉积物会发生结晶，X射线衍射显示出薄膜材料SiO₂晶态的衍射峰。