湿氧钝化CdSe(110)表面的XPS分析

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• 出版年：2004
• 作者：罗政纯；朱世富；赵北君；王瑞林；陈松林；何知宇；李艺星；任锐
• 单位1：四川大学材料科学系
• 出生年：1977
• 学历：硕士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：CdSe单晶体；表面钝化；XPS
• 起始页：164
• 总页数：4
• 经费资助：国家863计划资助项目(2002AAA325010)；四川省学术及技术带头人培养基金资助项目
• 刊名：人工晶体学报
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1972
• 主办单位：中国硅酸盐学会；晶体生长与材料专业委员会；人工晶体研究院
• 主编：余明清
• 电子信箱：bjb@jtxb.cn；jtxb@risc.com.cn
• 网址：http://www.jtxb.cn
• 卷：33
• 期：2
• 期刊索取号：P311.16105
• 核心期刊：中文核心期刊

摘要

用双氧水对CdSe单晶(110)表面进行钝化，采用X射线光电子能谱(XPS)分析了湿氧处理的CdSe(110)表面的化学特征。通过两次不同分析模式FAT(固定通能)和FRR(固定减速比)所得到的结果表明：CdSe表面出现Se偏析，表面上形成了SeOx（x<1），SeO、Cd(OH)₂和CdCO3的高电阻稳定氧化层，消除了器件表面态，可以减少器件的表面漏电流和改善其信噪比。