铂薄膜化学气相沉积动力学规律探讨
- 出版年：2003
- 作者：胡昌义；尹志民；王云；万吉高；邓德国；高逸群
- 单位1：中南大学材料科学与工程学院
- 单位2：贵研铂业股份有限公司
- 出生年：1963
- 学历：博士生
- 职称：副研究员
- 语种：中文
- 作者关键词：复合材料；铂薄膜；化学气相沉积；动力学
- 起始页：21
- 总页数：5
- 经费资助：国家自然科学基金资助项目（50171031）；云南省自然科学基金资助项目（200E0085M）
- 刊名：贵金属
- 是否内版：否
- 刊频：季刊
- 创刊时间：1980
- 主办单位：中国有色金属学会；昆明贵金属研究所
- 主编：孙加林
- 地址：昆明贵金属研究所，云南昆明二环北路
- 邮编：650221
- 卷：24
- 期：1
- 期刊索取号：P754.06 699-1
摘要
以乙酰丙酮铂为沉积源物质，采用金属有机化合物化学气相沉积（MOCVD）法在Mo基体上制备了Pt薄膜。研究了Pt薄膜的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铂的加热温度和运载气体（氩气）流速等沉积参数的关系。Pt的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程：沉积速率与绝对温度的倒数呈现抛物线关系，当温度为550C时，Pt的沉积速率达到最大值；随着乙酰丙酮铂加热温度的升高，Pt的沉积速率直线增加；而氩气流速的增大则显著减少Pt的沉积速率。SEM波谱成分分析表明，Pt薄膜中含有少量的氧。