EACVD中用氢原子谱线测定电子平均能量
- 出版年：2002
- 作者：董丽芳；张玉红
- 单位1：河北大学物理科学与技术学院
- 出生年：1963
- 学历：博士
- 职称：教授
- 语种：中文
- 作者关键词：化学气相沉积；氢原子发射谱线；电子平均能量
- 起始页：732
- 总页数：2
- 经费资助：河北省自然科学基金项目(502121)
- 刊名：光谱学与光谱分析
- 是否内版：否
- 刊频：双月刊
- 创刊时间：1981
- 主办单位：中国光学学会
- 主编：黄本立
- 卷：22
- 期：5
- 期刊索取号：P342.06220
- 核心期刊：物理类、化学类核心期刊
摘要
采用蒙特卡罗方法，对EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟。给出了由氢原子谱线测定电子平均能量的方法，结果对EACVD生长金刚石薄膜过程中实时监测电子平均能量，进而可以有效地控制工艺条件，生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义。