YZO薄膜的Sol-gel制备及其性能
- 出版年：2009
- 作者：郭米艳；张萌；肖宗湖
- 单位1：南昌大学材料科学与工程学院
- 出生年：1981
- 学历：硕士生
- 语种：中文
- 作者关键词：Sol-gel法；YZO薄膜；陈化时间；透光率
- 起始页：83
- 总页数：4
- 经费资助：教育部长江学者与创新团队发展计划资助项目（IRT0730）
- 刊名：材料导报
- 是否内版：否
- 刊频：半月刊
- 创刊时间：1987
- 主管单位：科学技术部
- 主办单位：科学技术部西南信息中心
- 主编：张明
- 地址：重庆市渝北区洪湖西路18号
- 邮编：401121
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- 卷：23
- 期：2
- 期刊索取号：P822.06 432
- 数据库收录：全国中文核心期刊；中国科学引文数据库来源期刊；中国科技论文统计源期刊
- 核心期刊：全国中文核心期刊
摘要
采用Sol-gel法在普通载玻片上制备YZO薄膜。研究了陈化时间和Y掺杂量对薄膜晶体结构、表面形貌和光学性能的影响，并分析和探讨了工艺参数与结构和性能之间的关系。实验结果表明，YZO薄膜为纤锌矿结构，呈c轴择优取向生长，平均透光率（380～760nm）超过85%。实验还发现，陈化时间存在最优值，YZO薄膜随着Y掺杂量的增加晶体结晶质量下降。