大规模和超大规模集成电路

详细信息    大规模和超大规模集成电路

• 责任者：赵保经
• 关键词：大规模集成电路 ; 超大规模集成电路
• 出版日期：1984.6
• 语种：chi
• 出版者：科学技术文献出版社
• 页数：174页
• 出版地：北京
• 第一责任说明：赵保经编著
• 定价：CNY0.74
• 尺寸：19cm

MARC全文

0100067392；20050111091145.0；CNY0.74；CN；15176.601；19960215d1984 em y0chiy0121 ea；chi；CN；110000；y z 000yy；r；大规模和超大规模集成电路；da gui mo he chao da gui mo ji cheng dian lu；赵保经编著；北京；科学技术文献出版社；1984.6；174页；19cm；本书内容包括大规模和超大规模集成电路兴起和发展的技术背景；它们在现代科学技术和国民经济发展中的重要作用，区别于一般中、小规模集成电路的特点--发展特点、电路结构设计特点、工艺设备特点等；大规模和超大规模集成电路的工艺基础--精细和超精细加工技术；电路设计制版手段；关键工艺设备和检测工具；制作环境和基础材料要求以及超大规模集成技术的可能发展前景。；大规模集成电路 ; 超大规模集成电路；TN47；2；赵保经；zhao bao jing；编著；CN；NGL；20050111；NGL；UCBL044718-19；TN47；Zh1；rCNY0.74；aulls；b2；eTNultn2