微波表面波PECVD沉积DLC薄膜对PET材料阻隔性影响
- 作者：印莲华杨丽珍李花刘忠伟陈强
- 会议时间：2014-10-01
- 关键词：聚对苯二甲酸乙二醇酯包装材料 ; 类金刚石薄膜 ; 微波表面波 ; 等离子体化学气相沉积法 ; 阻隔性能
- 作者单位：北京印刷学院等离子体物理及材料研究室,北京 102600
- 母体文献：第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛论文集
- 会议名称：第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛
- 会议地点：武汉
- 主办单位：中国机械工程学会
- 语种：chi
摘要
介绍了采用微波表面波等离子体化学气相沉积(MW Surface-wave PECVD)的方法,在PET包装材料的表面沉积类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜,以改善其阻隔性能.实验以乙炔作为单体,氩气为放电气体沉积DLC薄膜.采用傅立叶红外光谱(FTIR),拉曼光谱(Raman Spectra)以及表面轮廓仪等分析薄膜的结构、成分以及厚度分布.通过测试PET薄膜的氧气透过率(Oxygen Transmission Rate,OTR)和水蒸气透过率(Water Vapor Transmission Rate,WVTR)分析DLC薄膜沉积对阻隔性的影响.结果表明,在PET包装材料表面沉积纳米厚度的类金刚石薄膜可以大大改善其阻隔性能,氧气透过率降低约100倍,水蒸汽透过率降低约130倍.