硅基TPMS集成传感器研究

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• 作者：张兆华刘兵武张艳红谭智敏林惠旺刘理天
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：TPMS ; 压力传感器 ; 温度传感器 ; 压阻效应 ; 应力分布
• 作者单位：张兆华,刘兵武,张艳红,刘理天(清华大学微电子学研究所,北京,100084)谭智敏,林惠旺(浙江清华长三角研究院,浙江,嘉兴,314001)
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国仪器仪表学会
• 语种：chi

摘要

本文介绍了一种应用于轮胎压力监测系统(TPMS)的传感器芯片的设计与制作.该传感器芯片集成了压阻式压力传感器和单电阻结构的温度传感器,根据量程需要,硅杯膜的厚度与面积比比较大,所以高应力区向膜外扩展,通过改变桥臂电阻的摆放位置和形状,提高了传感器的灵敏度,并且通过采取高浓度注入电阻拐角区域,得到了较好的零点输出.