YSZ耐刻蚀涂层制备技术的研究

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• 作者：王聪瑜贾成厂夏洋张有茶程诚黄小泓
• 会议时间：2015-09-09
• 关键词：陶瓷涂层 ; 氧化锆 ; 氧化钇 ; 等离子喷涂技术 ; 耐腐蚀性能
• 作者单位：王聪瑜,贾成厂,张有茶,程诚,黄小泓(北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083)夏洋(中科院微电子所,北京,100029)
• 母体文献：2015年全国粉末冶金学术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会论文集
• 会议名称：2015年全国粉末冶金学术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会
• 会议地点：武汉
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi
• 分类号：TN4;TQ1

摘要

随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能.本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺过程,介绍了粉末特性及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影响作用,为实验研究奠定理论基础.