基于紫外激光微加工的微型可变辐射器
- 作者：曹生珠王熙元韩闯杨建平陈学康
- 会议时间：2012-09-13
- 关键词：微型星用热开关辐射器 ; 紫外激光微加工技术 ; 结构特征 ; 热性能
- 作者单位：表面工程技术重点实验室,甘肃兰州730000
- 母体文献：第四届高能束加工技术国际学术会议论文集
- 会议名称：第四届高能束加工技术国际学术会议
- 会议地点：青岛
- 主办单位：中国机械工程学会
- 语种：chi
- 分类号：TN2;TQ1
摘要
本文提出了一种基于紫外激光微加工技术、采用聚酰亚胺作为结构材料的微型星用热开关辐射器,介绍了器件的工作原理,对器件结构和热性能进行了理论分析,确定了影响器件性能的主要因素.然后采用紫外激光微加工、浸渍提拉法和磁控溅射薄膜沉积等技术制作了微型热开关辐射器样件,并进行了驱动电压和性能测试.测试结果表明,样件驱动电压为97V,辐射功率调节量约为0.1W.最后对测试结果进行了分析讨论.