状态反馈法改善MEMS静电驱动结构瞬时特性的研究

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• 作者：冯仁剑于尚民万江文吴银锋
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：MEMS静电驱动 ; 瞬时特性 ; 状态反馈 ; 输入量控制 ; 状态空间
• 作者单位：北京邮电大学自动化学院,测控与通信微系统研究中心,北京,100876
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国微米/纳米技术学会
• 语种：chi

摘要

MEMS静电驱动结构的瞬时特性受其结构本身机械动态特性的影响,自然阻尼过高或者过低都可能会让系统发生操作偏差.本文利用状态空间分析法分析了MEMS静电驱动结构的工作机理.基于状态反馈原则设计了一种输入量控制方法,即根据系统要求指标来配置极点,实现最优控制.仿真实验结果证明,该方法能提高系统的瞬时特性.