激光烧蚀电感耦合等离子体质谱线剥蚀的可行性
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摘要
激光烧蚀电感耦合等离子体质谱技术已经广泛应用于固体微区多元素分析,成为了研究元素空间分布信息的重要手段。激光剥蚀方式为单点剥蚀或线剥蚀。其中,影响线剥蚀过程中元素测量空间分辨率最主要的因素是剥蚀过程中信号的叠加。本文研究在一定的分辨率范围内,是否存在严重信号叠加,从而论证线剥蚀的可行性。

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