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三氯氢硅合成的探讨
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  • 作者：汤传斌
  • 会议时间：2001-06-01
  • 关键词：三氯氢硅 ; 合成原理 ; 多晶硅
  • 作者单位：北京有色冶金设计研究总院
  • 母体文献：第八届全国铅锌冶金生产技术及产品应用学术年会论文集
  • 会议名称：第八届全国铅锌冶金生产技术及产品应用学术年会
  • 会议地点：广东韶关
  • 主办单位：中国有色金属学会
  • 语种：chi
摘要
本文阐述了SiHCl<3,>合成的原理,并从反应温度、原料中含氧和水份、硅粉料层高度及氯化氢流量、硅粉粒度等几个方面对SiHCl<,3>合成的影响进行了探讨.

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