隧穿磁强计驱动电压的理论计算与实验验证

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• 作者：汤学华尤政胡晓莉
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：隧穿效应 ; 磁强计 ; 微机电系统 ; 驱动电压
• 作者单位：汤学华,胡晓莉(上海电机学院,机械学院,上海,200245)尤政(清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084)
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国仪器仪表学会
• 语种：chi

摘要

隧穿磁强计是一种利用量子力学中隧道效应原理研制的MEMS磁强计.在隧穿磁强计的性能参数中,驱动电压是一个很重要的参数,该值过大,可能会导致硅尖和对应电极相撞,该值过小,可能会导致不能将硅尖拉到规定的位置;本文通过对这种磁强计的质量弹簧系统进行力学分析,推导了弹性系数,根据设计尺寸计算了这种磁强计的梳齿驱动力和驱动电压的理论值,使用半导体测试仪测试了这种磁强计的实际驱动电压.结果表明:计算结果和测试结果较为一致.