MEMS薄膜平均应力梯度及等效弹性模量在线提取方法

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• 作者：戎华王鸣
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：悬臂梁 ; 吸合电压 ; 平均应力梯度 ; 弹性模量
• 作者单位：南京师范大学光电技术江苏省重点实验室,南京,210097
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国微米/纳米技术学会
• 语种：chi

摘要

薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及薄膜的弹性模量对器件性能有重要影响.本文提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及等效弹性模量的方法,该方法的关键在于实现悬臂梁吸合电压的快速精确计算.考虑了悬臂梁由应力梯度引起的沿宽度方向的弯曲及实现其固定端接近理想固支的方法,提高了吸合电压的计算精度.实际模拟表明该测量方法计算速度快、精度高,能够应用于实际工艺过程中材料参数的在线测量.