等离子喷涂8wt.%YSZ耐刻蚀涂层厚度对结合强度的影响
- 作者：王聪瑜夏洋贾成厂贾永昌张庆钊王文东刘金虎张有茶
- 会议时间：2014-10-01
- 关键词：氧化钇稳定氧化锆陶瓷涂层 ; 等离子喷涂工艺 ; 涂层厚度 ; 结合强度
- 作者单位：王聪瑜,张有茶(北京美桥电子设备有限公司,北京,100022;北京科技大学,北京,100083)夏洋,张庆钊,王文东,刘金虎(中科院微电子研究所,北京,100029)贾成厂(北京科技大学,北京,100083)贾永昌(北京廊桥材料技术发展有限公司,北京,100089)
- 母体文献：第十七届国际热喷涂研讨会暨第十八届全国热喷涂年会(CNTSC`2014)论文集
- 会议名称：第十七届国际热喷涂研讨会暨第十八届全国热喷涂年会(CNTSC`2014)
- 会议地点：成都
- 主办单位：中国表面工程协会热喷涂专业委员会
- 语种：chi
- 分类号：TB3;R31
摘要
随着等离子喷涂技术的发展,加之YSZ陶瓷涂层的高强度、化学稳定性等优点,使其得到了迅速发展.本研究采用等离子喷涂技术制备了不同厚度的8 wt.%氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层,通过实验分析了涂层厚度对结合强度的影响.结果表明:随着涂层厚度的增加,涂层的结合强度呈下降趋势,且厚度增加至一定程度时,结合强度的下降幅度减小.