泡生法蓝宝石晶体炉内隔热屏损坏机理研究

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• 作者：承刚孟秀清董珊
• 会议时间：2012-09-13
• 关键词：泡生法蓝宝石晶体炉 ; 内隔热屏 ; 钼材料 ; 损坏机理 ; 泡生法 ; 使用寿命
• 作者单位：中国科学院半导体研究所,北京100086
• 母体文献：第四届高能束加工技术国际学术会议论文集
• 会议名称：第四届高能束加工技术国际学术会议
• 会议地点：青岛
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

泡生法蓝宝石晶体炉钼制内隔热屏是炉内温场的一个重要部件,但损坏的几率非常高.为提高内隔热屏的使用寿命降低整个晶体的生产成本,通过对损坏的蓝宝石晶体炉内隔热屏轴向厚度分布测量,结合钼材料真空蒸发速率与温度的关系对其损坏机理进行了研究.结果表明:钼材料的蒸发速率在中间区域很高,在上下两端非常缓慢.根据其厚度分布,针对对传统的双层结构内隔热屏缺陷,提出了更为经济合理的三层内隔热层设计思想,提出了通过降低真空度、增加中间区域厚度延长隔热屏寿命等设想.