计及Casimir效应时旋转式NEMS致动器的动态稳定性研究
- 作者：郭建刚赵亚溥
- 会议时间：2006-09-21
- 关键词：旋转式纳电子机械致动器 ; Casimir力 ; 分叉 ; 相图
- 作者单位：中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,北京,100080
- 母体文献：传感技术学报
- 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
- 会议地点：南京
- 主办单位：中国微米/纳米技术学会
- 语种：chi
摘要
本文分析了Casimir力对旋转式纳电子机械(NEMS)致动器动态稳定性的影响.计及Casimir效应时,旋转式致动器失稳时的临界倾角和临界电压和结构的几何尺寸有关.外加电压为零时,导出了旋转式致动器在Casimir力作用下发生吸合的临界特征几何尺寸.给出了旋转式致动器的无量纲化运动控制方程,并对它作了定性分析.定性分析表明:该运动方程相应的自治系统在相平面上的平衡点包括中心点、稳定的焦点和不稳定的鞍点;相图呈现周期轨道、同宿轨道以及异宿轨道.另外系统还存在分叉现象.