射频辉光放电等离子体中电子能量的单探针诊断
- 作者：池凌飞林揆训姚若河林璇英余楚迎余云鹏
- 会议时间：2001-09-01
- 关键词：调谐探针 ; 电子能量分布函数 ; 数值滤波 ; 微分电路
- 作者单位：汕头大学物理系(汕头
- 母体文献：金属功能材料联合学术研讨会论文集
- 会议名称：第二届全国金属功能材料第九届全国非晶态材料和物理第三届全国稀土永磁材料联合学术研讨会
- 会议地点：北京
- 主办单位：中国金属学会
- 语种：chi
摘要
等离子体化学气相淀积是制备现代功能薄膜的重要工艺.射频辉光放电等离子体的特点是电子能量分布范围较宽.所以诊断和控制等离子体参数,就成为研究薄膜沉积机理的关键性问题.在多种诊断等离子体的方法中,最简单、最方便的方法是Langmuir单探针,电子能量分布函数与探针I-V曲线的二次微商成正比.但在应用探针诊断时,会遇到诸多问题.另外,由于系统内部存在着固有的统计噪声,使得获得电子能量分布函数变得十分困难.本文报道了使用调谐探针,在抑制了对探针的射频干扰之后,对探针I-V曲线的统计涨落噪声进行了数字滤波的光滑化处理,尔后求微分;在相同的放电条件下,运用自行设计的微商电路对探针特性曲线的二次微商进行在线测量.两种方法均获得了射频辉光放电氩等离子体的电子能量分布函数,并且两者结果相一致.证明本文所采用的数值处理方法是确实可行的.