非晶硅薄膜的低温快速固相晶化
- 作者：林揆训林璇英梁厚蕴池凌飞余楚迎石旺舟姚若河黄创君杨坤进
- 会议时间：2001-09-01
- 关键词：非晶硅薄膜 ; 固相晶化
- 作者单位：汕头大学物理系(汕头
- 母体文献：金属功能材料联合学术研讨会论文集
- 会议名称：第二届全国金属功能材料第九届全国非晶态材料和物理第三届全国稀土永磁材料联合学术研讨会
- 会议地点：北京
- 主办单位：中国金属学会
- 语种：chi
摘要
在镀铝的廉价玻璃衬底上高速沉积的非晶硅薄膜在不同的温度下退火10min.退火温度为500℃时,薄膜表面形成了硅铝的混合相;退温度为550℃时,大部分(约80﹪)的非晶硅晶化为多晶硅,平均晶粒尺寸为500nm;退火温度为600℃时,几乎所有的非晶硅都转化为多晶硅,其平均晶粒尺寸约为1500nm.