LED蓝宝石衬底研磨工艺研究

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• 作者：王志强方伟达朝鸿豁国燕王沛
• 会议时间：2014-10-01
• 关键词：发光二极管蓝宝石衬底 ; 研磨技术 ; 金刚石研磨液 ; 工艺参数
• 作者单位：王志强,方伟,达朝鸿,豁国燕(郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,郑州450001)王沛(河南工业大学,郑州450001)
• 母体文献：第十八届中国超硬材料技术发展论坛论文集
• 会议名称：第十八届中国超硬材料技术发展论坛
• 会议地点：太原
• 主办单位：中国机床工具工业协会超硬材料分会
• 语种：chi
• 分类号：TN3;TN8

摘要

本文研究了金刚石研磨液在LED蓝宝石衬底研磨过程中工艺参数:研磨盘材质、研磨压力、研磨盘转速对材料去除速率和表面粗糙度Ra值的影响.通过具体研磨试验得出:采用铜材质研磨盘、研磨压力3 psi、研磨盘转速80 rpm的工艺参数组合,可获取高效的材料去除速率和良好的表面粗糙度Ra值.