类金刚石膜Ti、Zr掺杂对DLC力学性能的影响
- 作者：马国佳孙刚张华芳武洪臣
- 会议时间：2009-10-01
- 关键词：DLC film ; diamond like carbon film ; PSⅡ ; Ti and Zr doping
- 作者单位：北京航空制造研究所/高能束流加工技术重点实验室,北京100024
- 母体文献：第13届全国特种加工学术会议论文集
- 会议名称：第13届全国特种加工学术会议
- 会议地点：南昌
- 主办单位：中国机械工程学会
- 语种：chi
- 分类号：O48
摘要
主要针对类金刚石膜存在的内应力大等缺点,通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜的表面形貌和力学性能进行了比较,结果表明金属的掺杂能够明显降低薄膜内应力,提高薄膜附着力,与含氢DLC膜相比,金属的掺杂还提高了薄膜的硬度,但掺杂后的摩擦系数变大.