非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/ZrN多层膜

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• 作者：徐俊波池成忠陈良贤纪殿友李成明吕反修
• 会议时间：2008-08-28
• 关键词：氮化钛 ; 氮化锆 ; 纳米多层膜 ; 力学性能 ; 纳米硬度 ; 磁控溅射
• 作者单位：徐俊波,陈良贤,李成明,吕反修(北京科技大学,材料科学与工程学院,北京,100083)池成忠(北京科技大学,材料科学与工程学院,北京,100083;廊坊恒宇工具有限公司,河北,廊坊,065000)纪殿友(廊坊恒宇工具有限公司,河北,廊坊,065000)
• 母体文献：第五届中国热处理活动周论文集
• 会议名称：第五届中国热处理活动周
• 会议地点：上海
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN/ZrN纳米多层膜,利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌。结果表明,在调制周期为30 nm时,纳米硬度达到38 GPa。