新型纳米多层硬质及固体润滑膜镀层
- 作者：孙海林
- 会议时间：2008-11-17
- 作者单位：浙江汇锦梯尔镀层科技有限公司
- 母体文献：2008中国(宁波)新材料与产业化国际论坛论文集
- 会议名称：2008中国(宁波)新材料与产业化国际论坛
- 会议地点：宁波
- 主办单位：中国机械工程学会
- 语种：chi
- 分类号：TB3;TN4
摘要
八十年代后期,等离子体技术在工业中的应用得到大力的扶持,特别是在机械加工业用的刀具及模具类产品.PVD技术的工业产业化也随着研究技术的发展而普及.近年来,由于“绿色工业”环境要求,传统加工工艺的改变,使得超硬纳米和固体润滑镀层的需求变得迫切.封闭磁场非平衡磁控溅射离子镀技术因其独特的磁场设计使得等离子体的离化率比普通磁控溅射提高100倍,同时将经过封闭磁场强力拘束后的高密度等离子体场扩展到工件表面,大大提高了镀层的结合强度.