在不锈钢表面利用飞秒激光加工微小结构的试验研究

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• 作者：齐立涛
• 会议时间：2011-10-22
• 关键词：不锈钢 ; 微小结构 ; 飞秒脉冲激光 ; 烧蚀阈值 ; 有效烧蚀半径
• 作者单位：黑龙江科技学院机械工程学院,黑龙江哈尔滨150027
• 母体文献：第14届全国特种加工学术会议论文集
• 会议名称：第14届全国特种加工学术会议
• 会议地点：苏州
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi
• 分类号：TN3;TG1

摘要

利用波长780 nm、频率1 kHz、脉冲宽度164 fs的飞秒脉冲激光,在不锈钢表面进行微小结构加工的试验研究.利用飞秒激光静态照射不锈钢表面,通过飞秒激光烧蚀孔的直径和脉冲能量的关系,计算飞秒激光烧蚀不锈钢材料的烧蚀阈值和有效烧蚀半径.利用烧蚀的微孔直径对飞秒激光加工的最小尺寸进行了阐述.研究了飞秒激光的主要参数(如脉冲能量和脉冲数量)对加工尺寸的影响规律.利用聚焦的飞秒激光束沿着扫描轨迹,在不锈钢表面加工较清洁的微小结构,微小结构的加工是为了使其应用于微小模具的加工,从而满足微机电系统中微小器件的中、大规模生产,降低其成本.