Cu-Zr纳米多层膜应变速率敏感性与激活体积
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摘要
本文采用磁控溅射技术制备了调制周期λ=12nm,20nm,40nm的Cu-Zr纳米多层膜,调制比η=1.通过X射线衍射、扫描电子显微镜对多层膜的微观结构进行研究,利用纳米压痕仪在0.0ls-1、0.03s-1、0.05s-1、0.1s-1、0.2s-1、0.5S-1应变速率下进行连续刚度实验.Cu/Zr纳米多层膜随应变速率升高出现了应变硬化现象,且通过激活体积和应变速率敏感指数的分析表明形变机理是位错-晶界之间的相互作用主导的.

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