基于PID原理的MEMS气体传感器研究
- 作者：薛晨阳菅傲群刘鑫张文栋
- 会议时间：2007-09-01
- 关键词：气体传感器 ; 电离室 ; PID原理 ; 气体检测
- 作者单位：电子测试技术国家重点实验室,太原,030051
- 母体文献：中国宇航学会深空探测技术专业委员会第四届学术年会论文集
- 会议名称：中国宇航学会深空探测技术专业委员会第四届学术年会
- 会议地点：太原
- 主办单位：中国宇航学会
- 语种：chi
摘要
本文分析了PID(Photo Ionization Detector)原理及利用此原理对高能航空燃料肼等有机气体进行检测的可行性,设计了电离室的结构,使用体硅微技术加工电离室,使电离室的体积和质量大大减小,并设计了相应的检测电路。本文介绍的PID气体传感器具有体积小,高精度,实时性等优点,与离子迁移谱技术进行集成后,可以同时分辨气体种类和高精度测试气体浓度,有广泛的应用前景。