微波等离子体CVD法合成纳米金刚石膜的研究
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摘要
本实验以氩气逐渐取代氢气作为主要的反应气体,使用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)成功合成出纳米金刚石膜.用拉曼光谱和原子力显微镜(AFM)对金刚石膜的质量、晶粒度、表面粗糙度进行了检测.

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