应用于微加工的观察定位系统

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• 作者：杜国军王咏梅王英鉴
• 会议时间：2007-10-01
• 关键词：微加工 ; 精确定位系统 ; 准分子激光 ; 激光微细加工 ; CCD传感器 ; 同轴方式
• 作者单位：中国科学院空间科学与应用研究中心 北京 100080
• 母体文献：中国空间科学学会空间探测专业委员会第二十次学术会议论文集
• 会议名称：中国空间科学学会空间探测专业委员会第二十次学术会议
• 会议地点：湖南张家界
• 主办单位：中国空间科学学会
• 语种：chi

摘要

本论文设计了一套微加工适时监控定位系统。根据微加工过程中遇到的定位问题,采用同轴方式,通过变焦镜头配合物镜将加工面成像在CCD传感器上的方法,实现了对加工面的监控;利用软件设置定位线,实现了对微小器件精确定位。解决准分子激光微细加工的观测定位问题。