准分子激光成像系统的研究
- 作者：杜国军付利平王咏梅王继红杨松王英鉴
- 会议时间：2005-10-01
- 关键词：准分子激光 ; 分辨率 ; 成像系统 ; 掩模投影加工
- 作者单位：中国科学院空间科学与应用研究中心,北京,100080
- 母体文献：中国空间科学学会空间探测专业委员会第十八次学术会议论文集
- 会议名称：中国空间科学学会空间探测专业委员会第十八次学术会议
- 会议地点：宜昌,重庆
- 主办单位：中国空间科学学会
- 语种：chi
摘要
本文针对微加工系统要求高分辨率的成像系统的特点,采用折射型系统,利用最小二乘法,校正球差、彗差和畸变,设计一个缩小倍率15:1的投影成像物镜,满足了掩模投影成像加工系统的要求.