反应溅射(Al,Ti)(O,N)涂层的微结构与力学性能

详细信息    查看全文 | 下载全文 | 推荐本文 |

• 作者：许辉祝新发胡祖光刘艳李戈扬
• 会议时间：2006-08-01
• 关键词：反应溅射 ; 铝钛复合涂层 ; 涂层微结构 ; 薄膜力学性能 ; 择优取向
• 作者单位：许辉,祝新发,胡祖光(上海工具厂有限公司,上海,200093)刘艳,李戈扬(上海交通大学材料学院,上海,200030)
• 母体文献：第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集
• 会议名称：第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛
• 会议地点：兰州
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

采用Al-Ti镶嵌复合靶在Ar、N2和O2混合气体中反应溅射制备了一系列(Al,Ti)(O,N)涂层.并采用EDS、XRD、AFM、TEM和微力学探针研究了薄膜的化学成分、微结构和力学性能.结果表明,随氧分压的提高,涂层中氧含量逐步增加,氮含量相应减少,(Al+Ti):(O+N)的化学计量比仍约为1∶1,涂层保持与(Al,Ti)N涂层相同的NaCl结构.随着氧含量的提高,涂层生长的择优取向发生改变,高氧含量薄膜样品呈现强烈(200)织构的柱状晶.与此同时,(Al,Ti)(O,N)涂层的硬度也仍保持在与(Al,Ti)N涂层相当的35GPa的高值.由于涂层中形成了相当含量的氧化物,这类涂层的抗氧化能力有望得到提高。