辉光放电离子溅射在扫描电镜样品制备中的应用

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• 作者：余卫华陈士华李江文张穗忠
• 会议时间：2010-09-12
• 关键词：辉光放电 ; 扫描电镜 ; 样品制备 ; 镀锌板 ; 离子溅射 ; 辉光光谱仪
• 作者单位：武汉钢铁(集团)公司研究院,武汉 430080
• 母体文献：第十五届冶金及材料分析测试学术报告会(CCATM2010)论文集
• 会议名称：第十五届冶金及材料分析测试学术报告会(CCATM2010)
• 会议地点：北京
• 主办单位：中国金属学会
• 语种：chi

摘要

辉光光谱仪的样品激发方式是阴极溅射,逐层分离。这个特点决定了该技术也可用于扫描电镜的样品制备中。本文利用辉光光谱仪对热镀锌板样品进行了分析,用扫描电镜对得到的不同厚度处的“新”表面进行了形貌观测,用能谱仪进行成分分析,得到了较好的结果,说明辉光放电离子溅射是一种可行的扫描电镜样品制备方法。