电浆熔射奈米级Al<,2>O<,3>/13﹪(ω)TiO<,2>微粒之涂层特性研究
摘要
本研究分别使用传统和奈米级Al<,2>O<,3>/13﹪(ω)TiO<,2>粉体进行电浆熔射涂层喷覆,并进行结构与特性研究.实验结果显示,从微观结构组织观察得知,传统熔射涂层结构为层状组织(Lamellar Structure),内含部分Al<,2>O<,3>未熔颗粒、Al<,2>O<,3>和TiO<,2>中间相组织与TiO<,2>熔融组织,奈米级熔射涂层结构,除了层状组织外,出现许多颗粒状部分熔融(Partially-Molten)组织,散布于层状组织周围与基材界面处,原来α-Al<,2>O<,3>部分变态为γ-Al<,2>O<,3>,TiO<,2>结晶则固溶于氧化铝涂层中,介电特性方面,奈米级Al<,2>O<,3>/13﹪(ω)TiO<,2>熔射涂层之崩溃电压为1500V,介电强度约4.5kV/mm,介电常数为5.22,相较于传统粉体所喷覆之涂层,半导体特性上有相当大的改变.