大直径石墨热场单晶生长工艺的研究
- 作者：苏金玉昝武陈洁阮善斌程小理
- 会议时间：2013-10-01
- 关键词：单晶硅棒 ; 生长工艺 ; 参数优化 ; 产品质量
- 作者单位：特变电工新疆新能源股份有限公司 830011新疆 乌鲁木齐
- 母体文献：第三届全国地方机械工程学会学术年会暨海峡两岸机械科技论坛论文集
- 会议名称：第三届全国地方机械工程学会学术年会暨海峡两岸机械科技论坛
- 会议地点：三亚
- 主办单位：中国机械工程学会
- 语种：chi
- 分类号：TN3;TM3
摘要
针对大直径石墨热场进行8英寸单晶硅棒生长工艺进行了研究和探讨,分析了单晶炉内热对流、温度、工艺参数对于单晶生长的影响,对一系列预设工艺参数进行了验证,最终确定出了一套稳定的SOP工艺参数,适用于大直径石墨热场进行8英寸无位错单晶硅棒的生长.