利用3ω法同时测量Nd:YAG晶体及其表面SiO2/ZrO2增透膜导热系数

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• 作者：王照亮唐大伟
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：3ω法 ; 导热系数 ; 增透膜 ; 纳米膜
• 作者单位：王照亮(中国科学院工程热物理所,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100049)唐大伟(中国科学院工程热物理所,北京,100080)
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国微米/纳米技术学会
• 语种：chi

摘要

本文建立了适用于高频测量的3ω测试系统.对于薄膜/衬底复合结构,在低频范围内采用斜率-求差-3ω法,同时确定了单层薄膜和衬底的导热系数.采用低频和高频测量相结合的方法测量了Nd:YAG晶体和(111)面上微/纳米ZrO2/SiO2多层增透薄膜中各层的导热系数.进行了不确定度分析.建立的测量原理和测试系统可用于基体表面多层薄膜以及微纳米器件热物性的表征.