摘要
用化学气相沉积法(CVD),通过碳热还原反应在Si(100)衬底上以Ag纳米颗粒为催化剂制备了糖葫芦状的SiC纳米棒.硅源为溶胶凝胶制备的SiO2,碳源为炭粉.采用X射线分析衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、高分辨率透射电子显微镜(HRTEM)、荧光光谱(Raman)对产物的组成、形貌、微观结构等进行了表征.结果表明:纳米棒都其有周期性的凹凸,形状貌似糖葫芦长度范围大约为300nm-600nm,而直径大小范围约为30-50nm.并且讨论了糖葫芦状的SiC纳米棒的生成机制,认为这样的纳米结构生长机制为VLS生长模式,其中Ag催化剂对其形貌起到至关重要的影响.室温下SiC纳米棒的PL发光峰与β-SiC单晶的发光特征峰相比有蓝移.