真空退火对Ti6Al4V合金离子注氧层表面形貌和结构的影响

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• 作者：李金龙孙明仁马欣新
• 会议时间：2011-09-16
• 关键词：Ti6Al4V合金 ; 等离子体 ; 氧离子注入技术 ; 表面形貌 ; 样品结构 ; 真空退火处理
• 作者单位：李金龙(中科院宁波材料技术与工程研究所,宁波 315201)孙明仁,马欣新(哈尔滨工业大学,哈尔滨 150001)
• 母体文献：第十次全国热处理大会论文集
• 会议名称：第十次全国热处理大会
• 会议地点：天津
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

本文采用等离子体基氧离子注入技术对Ti6Al4V合金进行表面处理.注入电压选取-50kV,注入剂量为4.5×1017 ions/cm2.氧离子注入后对注入样品进行不同温度的真空退火处理. 真空退火后,样品表面形貌发生显著变化.随着退火温度增加,先后出现点状、条状缺陷和浅白色块状区.500℃真空退火后样品表面粗糙度变化不大,600℃真空退火后样品表面粗糙度急剧增加.真空退火导致注氧层中氧流失,并且不能在注氧层中析出结晶相.