剃须刀锋刃沉积金刚石薄膜的实验研究

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• 作者：杨德威郭增印栗正新
• 会议时间：2013-11-13
• 关键词：金刚石膜 ; 刀刃 ; 剃须刀
• 作者单位：河南工业大学材料科学与工程学院,河南郑州450001
• 母体文献：第六届郑州国际超硬材料及制品研讨会暨庆祝中国人造金刚石诞生50周年大会论文集
• 会议名称：第六届郑州国际超硬材料及制品研讨会暨庆祝中国人造金刚石诞生50周年大会
• 会议地点：郑州
• 主办单位：中国机床工具工业协会
• 语种：chi
• 分类号：X50;TS9

摘要

采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)辅助热丝化学气象沉积(rHF-CVD),即RF-HFCVD,以CH4、H2、Ar为气源,在AF1钨钢剃须刀刃上,沉积纳米级金刚石薄膜.研究了沉积压力、CH4/H2流量比的变化对薄膜沉积的影响,采用扫描电镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)对薄膜的形貌和成分分析,利用Rockwell硬度计测试了膜基结合力.结果表明,沉积压力、CH4/H2流量比的变化对金刚石膜的表面状况影响很大,薄膜中sp3含量呈现先升高后降低的变化,并在700Pa、5.5%的碳氢比时达到最大值.压痕测试发现薄膜有微小的裂纹,膜基结合强度良好.