摘要
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)辅助热丝化学气象沉积(rHF-CVD),即RF-HFCVD,以CH4、H2、Ar为气源,在AF1钨钢剃须刀刃上,沉积纳米级金刚石薄膜.研究了沉积压力、CH4/H2流量比的变化对薄膜沉积的影响,采用扫描电镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)对薄膜的形貌和成分分析,利用Rockwell硬度计测试了膜基结合力.结果表明,沉积压力、CH4/H2流量比的变化对金刚石膜的表面状况影响很大,薄膜中sp3含量呈现先升高后降低的变化,并在700Pa、5.5%的碳氢比时达到最大值.压痕测试发现薄膜有微小的裂纹,膜基结合强度良好.