电感耦合射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜:偏压的影响

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• 作者：吉利李红轩赵飞权伟龙陈建敏周惠娣
• 会议时间：2008-04-01
• 关键词：类金刚石薄膜 ; 电感耦合 ; 等离子体增强 ; 化学气相沉积 ; 力学性能
• 作者单位：吉利,赵飞,权伟龙(中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 兰州 730000 中国科学院研究生院 北京 100049)李红轩,陈建敏,周惠娣(中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 兰州 730000)
• 母体文献：第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集
• 会议名称：第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
• 会议地点：武汉
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

采用电感耦合射频等离子体增强化学气相沉积的方法,在202不锈钢基体上制备了类金刚石碳薄膜,利用X射线光电子能谱、拉曼光谱和三维表面轮廓仪对不同脉冲偏压下沉积的薄膜组成、结构及其表面形貌进行了分析,并通过纳米压痕试验对薄膜的机械性能进行了研究。发现随着脉冲偏压的增加,sp3碳含量和硬度均呈现先增加后降低的变化趋势,在低偏压下,薄膜表面存在着大量的凸起,随着偏压的升高,凸起逐渐转化为孔洞。结果表明,sp3碳含量是决定薄膜硬度的重要因素,薄膜的生长过程是表面吸附和离子注入共同作用的结果。