升温速度对微波烧结ITO靶材的影响

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• 作者：袁振易健宏
• 会议时间：2011-08-26
• 关键词：升温速度 ; 微波烧结 ; 致密化 ; 综合性能 ; 固溶体
• 作者单位：中南大学 粉末冶金国家重点实验室,长沙 410083
• 母体文献：2011全国粉末冶金学术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会论文集
• 会议名称：2011全国粉末冶金学术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会
• 会议地点：广州
• 主办单位：中国有色金属学会
• 语种：chi

摘要

论文研究了升温速度对微波烧结ITO靶材的影响,升温速度为10~65℃/min.结果表明:当升温速度为10~45℃/min时,微波烧结可以获得相对密度99%左右的ITO靶材,且快速升温可以使晶粒更为细小,升温速度达65℃/min时,制备的靶材出现开裂现象,说明升温速度过快不利于靶材的致密化.升温速度为45℃/min时,制备的靶材综合性能最好,其相对密度达到99.58%,与商用靶材(99.72%)几乎相当;晶粒大小为4.06μm,远小于商用靶材(10.8μm),且晶粒大小也较均匀,不同升温速度下制备的ITO靶材均无SnO2相析出,仍是单一的固溶体相,不存在第二相。