Si含量对Ti-Al-Si-N复合膜抗氧化及摩擦磨损性能的影响

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• 作者：喻利花薛安俊许俊华
• 会议时间：2010-09-01
• 关键词：钛基复合膜 ; 反应磁控溅射技术 ; 硅含量 ; 抗氧化实验 ; 摩擦磨损性能
• 作者单位：江苏科技大学材料科学与工程学院,江苏省先进焊接技术重点实验室,江苏 镇江 212003
• 母体文献：第十七届华东六省一市热处理年会论文集
• 会议名称：第十七届华东六省一市热处理年会
• 会议地点：江苏昆山
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi
• 分类号：TQ1;TQ3

摘要

采用多靶反应磁控溅射技术制备了一系列不同Si含量的Ti-Al-Si-N复合膜.采用高温摩擦磨损仪测试其摩擦磨损性能性能,通过能谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜、超景深光学显微镜和三维轮廓仪对薄膜进行表征,研究了Si含量对Ti-Al-Si-N复合膜抗氧化性能和摩擦磨损性能的影响.结果表明:随着Si含量的增加,Ti-Al-Si-N复合膜的抗氧化性能逐渐增强,摩擦系数先增大后减小,磨损率逐渐减小,Si含量大于16.69at%时,高温抗氧化温度超过了1000℃,Si含量由0增加到25.23at%时,磨损率由4.5×10-6mm3/N.mm1减小到1.3×10-6mm3/N.mm.