微小卫星与磁通门磁强计的微型化
- 作者：贾文奎王晓霆陈肇新杨小兵
- 会议时间：2004-09-01
- 关键词：微小卫星 ; 磁通门磁强计 ; 传感器 ; 信号调制电路
- 作者单位：贾文奎,王晓霆,陈肇新(中科院空间中心)杨小兵(北京微电子技术研究所)
- 母体文献：中国空间科学学会空间探测专业委员会第十七次学术会议论文集(下册)
- 会议名称：中国空间科学学会空间探测专业委员会第十七次学术会议
- 会议地点：乌鲁木齐
- 主办单位：中国空间科学学会
- 语种：chi
摘要
磁通门微型化包括传感器和信号调制电路微型化,本文重点介绍两轴传感器平面微加工技术;利用CMOS集成和后处理技术两部分.