固结金刚石线锯技术
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摘要
在国内外太阳能电池和半导体芯片加工中,固结金刚石线锯正以其优越的性能逐步取代游离式钢丝线锯。本文简介了国内外固结金刚石线锯的研究现状及发展,分析了推广金刚石线切割技术的难点与挑战,提出对目前金刚石线锯制造方法的若干思考。指出金刚石单长线和环线用于单晶硅、多晶硅之外还可用于蓝宝石、功能陶瓷、人工晶体和宝玉石等贵重硬脆材料的切割加工,前景十分广阔。

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