薄膜体声波谐振器(FBAR)谐振特性的模拟分析

详细信息    查看全文 | 下载全文 | 推荐本文 |

• 作者：汤亮郝震宏乔东海
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：薄膜体声波谐振器 ; Mason ; 等效电路 ; 微波振荡器 ; 双工器 ; 射频微机电系统
• 作者单位：中国科学院声学研究所微机电实验室,北京,100080
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国仪器仪表学会
• 语种：chi

摘要

本文主要利用Mason等效电路模型对加入介质声损耗的薄膜体声波谐振器输入阻抗公式进行了推导,并利用该结果对薄膜体声波谐振器的谐振特性进行了模拟分析,分别就不同压电层材料和厚度以及不同电极材料和厚度对薄膜体声波谐振器谐振特性的影响进行了详细分析.结果表明,薄膜体声波谐振器谐振频率主要由压电材料和厚度决定但电极的影响也是很大的.在制作高频FBAR器件(5GHz以上)时,采用氮化铝作压电材料比用氧化锌作压电材料更合适.